锐鹰传感助力CSEAC 2026|以精密之"尺",护航半导体设备自主突破
发布时间: 2026-08-28
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2026年8月31日—9月2日,CSEAC 2026将在无锡太湖国际博览中心启幕。7万㎡展区、1400+展商、20+论坛、120+校企机构集中亮相,共赴半导体行业年度盛会,链接产业机遇,汇聚前沿成果。


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半导体设备对定位精度要求严苛,高精度光栅尺是关键测量部件。锐鹰传感依托精密传感技术积累,推出多款直线光栅尺,适配直驱平台,覆盖晶圆加工、先进封装、检测等场景,赋能国产半导体装备。


本次展会,锐鹰传感助力CSEAC 2026顺利举办,与行业同仁共探国产精密传感技术发展方向。


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S系列直线光栅尺,为直线电机精密控制而生


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明星光栅尺产品,面向直线电机精密控制场景,适配各类半导体设备多元精度需求。其中S系列专为直驱直线电机平台打造,测量精度出色、抗干扰能力强,动态响应稳定可靠。


01SONA系列绝对值光栅尺

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  • 具有优秀的抗污能力,可抵御轻度灰尘、划痕和油渍的污染;

  • 读数头正反向均可读取;

  • 宽松的间隙公差以及集成LED安装指示灯,令安装更加轻松;

  • 软件100%自主化,通讯方式扩展性强。


02SONI系列增量式光栅尺

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  • 最小20nm分辨率,内置参考原点和限位,标准TTL差分输出;

  • 低细分电子误差,可达±40nm的电⼦细分误差;

  • 具有优秀的抗污能力,可抵御轻度灰尘、划痕和油渍的污染;

  • 宽松的间隙公差以及集成LED安装指示灯,令安装更加轻松。


突破工况难题,赋能半导体装备

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半导体设备车间工况复杂,粉尘、油污极易污染直线光栅尺,引发测量精度下降、信号失真甚至信号中断等问题。


锐鹰传感光栅尺具备出色抗污能力,创新性采用低表面能复合涂料,打造超疏水、超疏油界面,让粉尘油污难以附着;同时持续优化光栅编码算法与校验规则,提升信号采样容错能力,保障位置信号稳定可靠,无惧复杂工况干扰。


锐鹰传感持续聚焦高精度光栅编码器研发制造,坚持自主创新,不断攻坚核心光学编码技术。


公司持续培育仓储物流、新能源、锂电、半导体等高增长赛道,不断拓宽产品应用场景,提升在行业内的服务深度与技术壁垒。依托性能更优、交付更快、服务更好三大核心优势,锐鹰传感始终致力于打造国产高端光栅传感产品,持续填补产业链关键环节空白。